Product laser
產(chǎn)品中心
兼容性好，同時(shí)支持石英、硼硅、鈉鈣、鋁硅等多種不同玻璃材質(zhì)
可根據(jù)需求在基板上實(shí)現(xiàn)圓孔、方孔、埋孔、通孔以及微槽等多形態(tài)工藝
優(yōu)異的深孔特性，徑深比高達(dá)1：100，最小孔徑≤5μm
良好的孔質(zhì)量，側(cè)壁光滑、無(wú)裂痕
優(yōu)異的產(chǎn)能
良好的定位及重復(fù)精度
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基板尺寸 |
4~12英寸圓片或方片 |
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進(jìn)料方式 |
4~12英寸（花籃）自動(dòng) |
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加工形式 |
激光固定+高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái) |
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平臺(tái)速度 |
≤1000mm/s |
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通孔形狀 |
圓孔、方孔、埋孔、通孔、 微槽 |
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最小孔徑 |
5μm |
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最大徑深比 |
1：100 |
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平臺(tái)精度 |
重復(fù)定位精度≤ ±1μm；定位精度<±2μm |
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圖形位置精度 |
≤±3um @300mm范圍 |
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設(shè)備產(chǎn)能 |
≥5000 points/s |
