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Product laser

產(chǎn)品中心
板級TGV激光微孔設(shè)備
產(chǎn)品簡介
通過高精度平臺及控制系統(tǒng),搭配更高效率的光學(xué)設(shè)計架構(gòu),匹配大幅面玻璃基板對通孔工藝及效率的雙重要求。
產(chǎn)品特點

高精度動態(tài)跟隨運動平臺,配合高響應(yīng)運動控制模塊,使玻璃改質(zhì)加工具備快速、準(zhǔn)確、高效特性

定制化成套光路系統(tǒng),適用于多種玻璃材料加工,工藝效果穩(wěn)定可靠

多種視覺定位模式,可適應(yīng)Mark、外輪廓等定位方式

控制軟件由帝爾自主研發(fā),支持中英文操作,交互體驗更友好

應(yīng)用領(lǐng)域
玻璃基芯片封裝、顯示芯片封裝等
技術(shù)指標(biāo)
基板尺寸
<650x650mm向下兼容
進(jìn)料方式
機械手/滾輪
加工形式
激光+高精密運動平臺
平臺速度
≤1400mm/s
通孔形狀
圓孔、方孔、埋孔、通孔、 微槽
最小孔徑
5μm
平臺精度
重復(fù)定位精度≤±1.5um;定位精度≤±3um
圖形位置精度
≤±5μm @600mm范圍;≤±3μm @300mm范圍
設(shè)備產(chǎn)能
≥5000 points/s